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SMART系列產(chǎn)品是專門為實驗室應(yīng)用開發(fā)的一款小型高低溫動態(tài)控溫系統(tǒng)。功能與PTHC系列相同，可實現(xiàn)物料溫度控制、夾套溫度控制。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項保護功能，確保設(shè)備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。適用于需要快速加熱和降溫的外部應(yīng)用，對玻璃反應(yīng)釜、金屬反應(yīng)釜、生物反應(yīng)器等進行升降溫、恒溫控制，材料測試，尤其適合在反應(yīng)過程中有吸熱、放熱過程控制。

TLS精密冷水機：使用溫度范圍：5~85℃，配有加熱器，屬于制冷加熱一體機。型號按加熱功率命名，加熱功率在1.5~25kW之間。精密冷水機可以滿足精確控溫的需求，也可以根據(jù)客戶要求選配流量計和壓力傳感器。本產(chǎn)品適用于半導體制造裝置、分析檢測裝置等發(fā)熱部分的冷卻及溫度的控制。

Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產(chǎn)品，可實現(xiàn)對設(shè)備出口溫度的精準控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、板式換熱器、水箱、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項保護功能，確保設(shè)備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列產(chǎn)品，可實現(xiàn)對設(shè)備出口溫度的精準控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。全系列采用全直流變頻壓縮機，磁力耦合泵，電子膨脹閥節(jié)流裝置，西門子控制器，壓縮機，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項保護功能，確保設(shè)備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

PTLQ系列氣體制冷機用于氣體的降溫與冷卻，也可選擇進行升溫與恒溫控制。氣體通常為干燥的壓縮空氣或氮氣、氬氣等惰性氣體。進氣溫度可以是常溫的，也可以是高溫的，經(jīng)過氣體制冷機降至目標低溫。針對于晶圓測試載冷臺的應(yīng)用來說，氣體制冷機相比較于傳統(tǒng)的液冷有諸多優(yōu)勢，如使用方便、安全衛(wèi)生、成本低、無異味等?？刂破骺蛇x配物聯(lián)網(wǎng)功能，可在手機APP上進行遠程查看數(shù)據(jù)、報警信息和遠程操控?？蛻艨筛鶕?jù)氣體處理流量及溫度來選擇設(shè)備，若樣冊無對應(yīng)型號可聯(lián)系本公司銷售人員進行咨詢。

主要由制冷系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。